含硅的合金（7%）很難在硫酸體系中進(jìn)行硬質(zhì)氧化， 二氧化硅合金中的硅含量高達(dá)10% - 13%，高硅的存在，多晶硅容易產(chǎn)生偏析，導(dǎo)致膜生成困難，硬質(zhì)氧化薄膜的均勻性也不好。
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