硬質氧化，用于25-150um厚度一般要求。大多數的硬質氧化膜的厚度是50-80um，膜的厚度小于25um的硬質氧化膜，對關鍵部分的齒螺嚙合，磨損不利，厚度約為50um的硬質氧化膜，在一些特殊情況下，會產生厚度超過125um的硬質氧化膜，但必須注意，陽極硬質氧化膜較厚時，外層的硬度可以越低，薄膜表面的粗糙度就會增加。槽的硬質氧化，通常對硫酸溶液添加有機酸，如草酸，氨基磺酸，等。