硬質氧化是在低溫下得到的，生成的膜層較厚，一般有40-60um,在氧化過程中，有大量的熱量產生和氣體放出，氧化膜內部生成大量的應力，氧化膜體積膨脹，應力釋放，從而表面形成裂紋，越厚的膜層越容易出現這種現象，一般不視為一種不良現象。
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